Дипломна робота Кваліфікаційна робота здобувача вищої освіти

Розроблення крокового електроприводу установки нанесення тонких плівок при виробництві мікросхем

ID елемента: 11409
1 Медіафайлів
2023/10/12
Єндіяров_Є.О._601 МЕ
Єндіяров_Є.О._601 МЕ
Властивості
Тип
Українська
Студентські роботи
Рівень освіти
Українська
Магістр
Назва
Українська
Розроблення крокового електроприводу установки нанесення тонких плівок при виробництві мікросхем
Автор
Українська
Єндіяров, Є.О.
Опис
Українська
У даній роботі розроблений регульований електропривод керування підйомником стола масок із застосуванням крокового двигуна, що підвищує продуктивність і якість продукції. Розроблена механічна частина електропривода стола масок, створена система автоматизованого керування електроприводом, побудовані логарифмічні АЧХ та ФЧХ системи автоматичного керування, система перевірена на стійкість за критерієм Михайлова. Проведені дослідження крокового електропривода, які допомогли підвищити добротність слідкуючого контуру електропривода за рахунок збільшення граничної швидкості обертання двигуна або зменшення його динамічної похибки.
Мова
Українська
Дата випуску
2022
Ключові слова
Українська
виробництво інтегральних мікросхем
Українська
кроковий двигун
Українська
електропривод
Українська
система керування
Українська
стіл масок
Видавництво
Українська
Національний університет "Полтавська політехніка імені Юрія Кондратюка"
Бібліографічний опис
Українська
Єндіяров Є.О. Розроблення крокового електроприводу установки нанесення тонких плівок при виробництві мікросхем: кваліфікаційна робота магістра за спеціальністю 141 Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка / Є.О. Єндіяров. – Полтава: Національний університет імені Юрія Кондратюка, 2022. – 81 с.
Набори елементів 1
Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (магістр) 141 Електроенергетика, електротехніка, електромеханіка
136 57 items
Медіафайли
Єндіяров_Є.О._601 МЕ
Єндіяров_Є.О._601 МЕ
Інформація про метадані
Створено
2023-10-12 09:49
Остання зміна
2026-3-19 10:49
(Оновлено 889 днів після створення)
Дата видачі (DC)
2022
ID елемента
#11409
Клас ресурсів
Дипломна робота
Шаблон ресурсу
Кваліфікаційна робота здобувача вищої освіти